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RTP快速退火
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◆ 快速退火爐是利用紅外熱輻射實(shí)現(xiàn)快速加熱的一種半導(dǎo)體熱處理工藝設(shè)備，通過(guò)燈光輻射型熱源功率控制模塊裝置和專(zhuān)用燈組對(duì)位于工藝腔體的半導(dǎo)體硅片進(jìn)行快速加熱來(lái)實(shí)現(xiàn)穩(wěn)定的升溫過(guò)程
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